2022 年至今,久朝在台積電 7 個廠區持續為鼓風機執行頻譜振動量測與線上動平衡。 本案例集自 178 份實測報告中整理出六個代表性案例——從當日搶救、趨勢預判、到避免一次不必要的停機—— 完整呈現我們的檢測、診斷與預判能力。
每個案例都由三層證據支撐:量測數據、頻譜特徵、與後續追蹤驗證。點擊卡片查看完整故事。
兩台風機 1X 振幅飆至 12~17.6 mm/s,線上動平衡當日壓回合格區,全程不拆機。
17 個月劣化曲線 0.92 → 5.60,及早判定軸承磨損;廠務依預警完成計畫性更換。
2023 年是不平衡(1X),2025 年是軸承鬆動(2X)——頻譜分得出來,對策才會對。
動平衡讓 MOH 4.90 → 1.43,其後五次追蹤全數維持在 B 區。
5.64 mm/s 超標,但頻譜指向葉片氣流而非機械損傷——避免一次不必要的停機。
19 次到場、多轉速掃描,為每台機建立振動指紋基線,異常一比就現形。
半年前還一切正常的兩台風機,到場時 1X 振幅峰值已達 12.08 與 17.59 mm/s。線上動平衡讓它們當天回到合格區——不拆機、不吊裝、不停產。
兩台風機整體振動最大 3.05 mm/s(RMS),落在 B 區,維持例行追蹤。
BA 量得 12.08、BB 量得 17.59 mm/s(1X 峰值)——遠超 C/D 區界線。頻譜顯示能量集中於一倍頻、其他倍頻相對低,為典型葉輪不平衡,符合線上動平衡施作條件。
直接於現場運轉狀態下試重、計算、配重,BA 校正後 1.32、BB 校正後 1.53 mm/s。
以 40 / 50 / 54 Hz 三種運轉頻率複測六份頻譜,整體 RMS 最大 2.37 mm/s,全數回到 B 區。
同廠區的雙胞胎機 C-2445DA 四次量測都在 1.3 mm/s 以下;C-2445DB 卻一路 0.92 → 1.13 → 2.11 → 5.60。趨勢加頻譜,讓軸承磨損在跳機之前就被點名。
0.92 → 1.13 mm/s,A/B 區,健康。
FIV/FIH 升至 2.1 mm/s 附近——仍在標準內,判定「可長期運轉」,但列入重點追蹤。
風機側軸承水平向(FIH)達 5.60,四個月內爬升 2.7 倍;頻譜出現諧波串與底噪抬升的鬆動特徵,現場運轉噪音變尖銳。初步判定:軸承磨損。
並說明此機校正孔不在風輪配重孔範圍內、無法以線上動平衡處理——對策必須是更換軸承,而非動平衡。
廠務依建議安排計畫性停機、完成軸承更換——從趨勢預警、故障定位到計畫性維修的完整閉環,全程未發生非計畫跳機。
「目前風機震動值已超過安全值……頻譜波型看起來有鬆動訊號,且現場風機運轉噪音愈發變大,初步判斷軸承有磨損造成,建議更換軸承……目前震動值日趨增大,需安排停機維修。」 —— 2026/01/22 檢測報告・診斷欄位原文
2023 年它是葉輪不平衡(1X 主導),動平衡後回穩;2025 年數值再度超標,但這次是 2X 主導+鬆動訊號——我們給的對策不是再做一次動平衡,而是換軸承。
頻譜 1X 主導 → 判定葉輪不平衡,可線上動平衡改善。
同步處理姊妹機 C-2545AA。2024 年三次追蹤回穩(1.73–3.51)。
MOH 頻譜 2X(2.73)> 1X(1.65),並出現鬆動訊號。這不是平衡問題。判定:軸承問題,建議下次停機更換軸承,並持續注意是否有升高趨勢。
「現風機震動值,在馬達冷卻側呈現較高的震動值,最高震動源來自二倍頻,且出現鬆動訊號,建議下次停機時更換軸承,且需注意是否有升高趨勢。」 —— 2025/07/24 檢測報告・診斷欄位原文
改善那一天的數字不難漂亮,難的是之後每一次追蹤都還在合格區。這台機我們交出了完整的前、中、後證據鏈。
進入 C 區(超過 2.8),頻譜 1X 主導,判定葉輪不平衡,建議施作線上動平衡。
MOH 4.90 → 1.43(-71%)、MOV 4.10 → 1.88(-54%),回到 B 區內側。
2.05 → 2.84 → 2.50 → 2.26 → 2.97,20 個月未再超標。
數字超標了,停不停機?只看總量值會做錯決定。這一次,頻譜與跨轉速比對讓風機免於一次不必要的檢修——而其後兩年半的追蹤證明判斷正確。
單看數值,已達「警戒」等級。
50Hz → 2.69、53Hz → 2.96。若為不平衡,離心力隨轉速平方成長、高轉速應更嚴重——實測相反,排除不平衡。
頻譜能量呈現不穩定擺動(含葉片通過頻率成分),MOV 高值為突波引起,屬氣流擾動而非機械損傷。判定:尚可接受,不需停機。
未再出現異常高值,證實當時不停機的判斷正確。
「現風機震動峰值……呈現忽高忽低情況,屬於葉片氣流情況。目前風機震動值標準值內(僅有 MOV 為突波引起,尚可接受)。」 —— 2023/12/04 檢測報告・診斷欄位原文
預判能力來自基線。四年間我們以 6,540–9,960 RPM 的多轉速掃描為這對機組建立完整振動指紋——任何偏離基線的變化,一比就現形。
檢查並清潔冷卻散熱輪與葉輪後振動改善;同時建立兩台機的頻譜基線。
每次到場依實際工況量測多組轉速(同日最多四種),確保變頻全域都在掌握之中。
四年 70 筆頻譜,整體振動維持 1.75–4.41 mm/s 之間,無失控劣化事件。
八次線上動平衡施作,全程於運轉狀態完成,不拆機、不吊裝。我們也如實回報「不需要做」的情況——振動源不是平衡問題時,動平衡不會被硬做。
| 廠區・機台 | 日期 | 校正轉速 | 校正前(mm/s) | 校正後(mm/s) | 改善率 | 備註 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| F14P7・C-2535BB | 2025/12/15 | 9,960 RPM | 17.593 | 1.53 | -91.3% | 本集 CASE 01 |
| F14P7・C-2535BA | 2025/12/15 | 9,960 RPM | 12.076 | 1.32 | -89.1% | 本集 CASE 01 |
| F18P4・C-2535BB | 2025/11/04 | 9,960 RPM | 2.848 | 0.265 | -90.7% | 預防性精修 |
| F18P4・C-2535BA | 2025/11/04 | 9,960 RPM | 0.868 | 0.562 | -35.3% | 預防性精修 |
| F18P5・C-2535BB | 2026/06/03 | — | 3.832 | 1.062 | -72.3% | |
| F18P5・C-2535BA | 2026/06/03 | — | 1.005 | 1.07 | 持平 | 1X 成分已低、無改善空間——如實回報,不做無效工程 |
| F15B・C-2545AA | 2023/11/10 | 9,580 RPM | 4.90* | 1.43* | -71% | 本集 CASE 04 |
| F15B・C-2545AB | 2023/11/10 | 9,580 RPM | 5.07* | 2.78* | -45% | 本集 CASE 03 |
每台機固定量測 5–12 個測點,頻譜逐點判讀。判斷邏輯全部寫進報告,廠務人員看得懂、查得到、對得上。
馬達兩端軸承各量測三向:葉輪側軸承 MIV / MIH / MIA、馬達冷卻側軸承 MOV / MOH / MOA(V 垂直/H 水平/A 軸向)。設有獨立風機軸承的機型(如 F15P3)另加風機側 FIV–FOA 六點,合計 12 點全覆蓋。
| 頻譜特徵 | 指向原因 | 典型對策 |
|---|---|---|
| 1X(轉頻)主導 | 葉輪不平衡 | 線上動平衡 |
| 2X 明顯 | 對心不良/聯軸器 | 雷射對心、檢查聯軸器 |
| 諧波串+底噪抬升 | 機械鬆動 | 檢查基座、軸承座 |
| 3X 以上倍頻 | 安裝結構組件 | 結構檢查 |
| 葉片數×轉頻(BPF)、忽高忽低 | 氣流擾動/葉片 | 檢查風門風管、葉輪積垢 |
| 高倍頻/軸承特徵頻率 | 軸承磨損 | 趨勢監控、更換軸承 |
| 區 | RMS(mm/s) | 意義 |
|---|---|---|
| A | ≤ 1.4 | 新機狀態 |
| B | 1.4 – 2.8 | 可長期運轉 |
| C | 2.8 – 4.5 | 短期可運轉,需安排改善 |
| D | > 4.5 | 可能造成損壞 |
案場另訂管制值 RMS 4.0 mm/s,作為改善行動的觸發線。
Q:何時須施作?
風機振動值超過標準值,且頻譜確認振動源主要來自一倍頻、其他倍頻低於一倍頻時。
Q:什麼情況不能做?
其他倍頻大於一倍頻(如對心、鬆動、軸承問題)、結構不良、風輪偏擺嚴重、相位不穩、氣流嚴重不穩、軸承受損嚴重——這些情況做了也沒用,我們會直接告訴你真正該修什麼。
Q:改善怎麼判定?
不只看動平衡儀讀值——配重完成後以頻譜複測(必要時多轉速),確認整體 RMS 回到標準內才算數。
168 筆有效量測、14 台機組。點選機台查看完整趨勢——每一點都可對回原始頻譜報告。